Plasmatechnologie

Plasmatechnologie nutzt ionisierte Gase zur Oberflächenmodifikation, Dünnschichtabscheidung und Ätzung. Verfahren wie PVD, PECVD, Plasmaoberflächenaktivierung oder Atmosphärendruckplasmen erzeugen reaktive Spezies, die chemische Bindungen verändern, Schichten growthen oder Kontamination entfernen. Anwendungen reichen von Korrosionsschutz über Haftvermittler bis zur Sterilisation und Mikrostrukturierung.

Gremien

  • Arbeitskreis

    Koordinierung im GA PLASMA

    Gremienmitglieder: 19
    Leitung
    Dr. Johannes Strümpfel
    VON ARDENNE GmbH
    Leitung
    Prof. Dr. André Anders
    Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
  • Arbeitskreis

    Normung/Standardisierung

    Gremienmitglieder: 3
    Leitung
    Prof. Dr. Georg Reiners
    Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
  • Gemeinschaftsausschuss

    PLASMA Germany

    Gremienmitglieder: 35
    Leitung
    Prof. Dr. André Anders
    Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
  • Arbeitskreis

    Plasmabehandlung von Polymeren

    Gremienmitglieder: 3
    Leitung
    Prof. Dr. Jörg Friedrich
    Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)