Fortschritte in der Zuverlässigkeit der Mikroelektronik: Erkenntnisse aus dem Webinar von Dr. Kutukova

Am 29. Februar 2024 veranstaltete die Deutsche Gesellschaft für Materialkunde (DGM) das Webinar „In-situ study of crack propagation in patterned structures of microchips using X-ray microscopy“, das von Frau Dr. Kristina Kutukova präsentiert wurde. Der Schwerpunkt lag auf der Zuverlässigkeit der Mikroelektronik und insbesondere auf der eingehenden Untersuchung der komplexen Welt der Rissausbreitung innerhalb strukturierter Mikrochip-Systeme.

Zuverlässigkeit in der Mikroelektronik  
Mit der zunehmenden Nachfrage nach kleineren und leistungsstärkeren elektronischen Geräten ist es wichtig, die mechanische Robustheit und Zuverlässigkeit von Mikrochips gegen Rissausbreitung sicherzustellen, wie Dr. Kutukova betonte. Das Webinar unterstrich die Bedeutung des Verständnisses der Rissausbreitung in 3D-Nanopattern-Systemen für wissenschaftliche Fortschritte sowie für die Herstellung mechanisch widerstandsfähiger Mikrochips für industrielle Anwendungen.

Innovative Methodik
Für eine Quantifizierung des bruchmechanischen Verhaltens in dieser Größenskala bietet sich eine Kombination aus einem In-situ-Aufbau zur Applikation von geringfügigen Lasten und der Röntgenmikroskopie an, wie Dr. Kutukova veranschaulichte. Darüber hinaus bedarf es neuer Methodenansätze, um Mikrorisse kontrolliert in Bereiche mit kritischem Risswiderstand zu lenken. Im Angesicht immer komplexerer Designs von integrierten Schaltkreisen (ICs) auf Chip-Interconnect-Stack-Materialien stellt die kontrollierte Lenkung von Rissen eine wichtige Voraussetzung in der erfolgreichen Charakterisierung des Bruchverhaltens von Mikrochips dar. 

Experimentelle Einblicke und zukünftige Perspektiven
Dr. Kutukova bot hierfür vertiefte Einblicke in eine innovativen Versuchsaufbau, an dem sie seit einigen Jahren bereits forscht. Dafür gab sie Erläuterungen zur Messtechnik mittels Nano-XCT, mit derer hochauflösende 3D-Bildgebung von kinetischen Prozessen ermöglicht wird, und der Nutzung eines Mikro-DCB-Prüfkörpers. Zudem zeigte sie beeindruckende Aufnahmen von kontrollierten Rissausbreitungsversuchen, mit derer Hilfe sich lokal kritische Energiefreisetzungsraten bestimmen lassen. Die Ergebnisse und Erkenntnisse gaben vielversprechende Aussichten, wie sich die mechanische Stabilität von Nanoelektronik zukünftig verbessern lässt.

An dem Webinar nahmen 35 interessierte Zuhörer*innen teil, die gegen Ende noch die Chance nutzten, der Referentin Folgefragen zu stellen. Zudem wurde ein Ausblick auf bevorstehende Schulungsangebote gegeben, die weiteren Einblick in das Gebiet der Zuverlässigkeit in der Mikroelektronik verspricht. Schauen Sie für weitere Informationen gerne auf unserer Webseite vorbei. 

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